BGI裝備研發(fā)中心以放大各種實(shí)驗(yàn)室小試階段成功的薄膜材料制備技術(shù)為基礎(chǔ)，開發(fā)多種規(guī)格石墨烯材料大批量、工業(yè)化制備技術(shù)。根據(jù)市場(chǎng)需求，推出基于不同應(yīng)用領(lǐng)域及終端市場(chǎng)的新型裝備，推動(dòng)石墨烯產(chǎn)業(yè)和高端智能裝備產(chǎn)業(yè)的共同進(jìn)步。

The BGI Equipment R&D Center has developed different types of equipment which according to the market demands  in various application fields.

石墨烯薄膜材料自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備

CVD graphene automatic testing equipment

最大測(cè)量面積∶50x50（cm）

Max testing area：50 cm × 50 cm   

可同步獲取石墨烯薄膜的光學(xué)透光率和面電阻

Simultaneously obtain transmittance and sheet resistance data

可實(shí)現(xiàn)面掃描式的多點(diǎn)快速測(cè)量

Surface scanning multi-point fast test

可實(shí)時(shí)輸出石墨烯薄膜材料參數(shù)數(shù)據(jù)，并顯示云圖

Real-time data output, with cloud images

A3尺寸石墨烯薄膜批量制備裝備

Large Size CVD Graphene Growth System

使用溫度∶RT-1150℃

樣品尺寸∶29.7×42（（cm2）

單晶疇區(qū)尺寸∶>500μm

用于實(shí)現(xiàn)大單晶疇區(qū)石墨烯薄膜的快速批量制備

單晶石墨烯晶圓爐

使用溫度∶RT-1150℃

樣品尺寸∶4英寸、6英寸

用于生長(zhǎng)4、6英寸單晶石墨烯晶圓

通用石墨烯薄膜電化學(xué)鼓泡分離裝備

Graphene Transfer Equipment

最大處理尺寸∶29.7×42（cm）

裝備優(yōu)勢(shì)∶10分鐘內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)石墨烯與金屬生長(zhǎng)襯底的快速無損分離